一、演講主題:3D形貌量測技術發展與產業應用(干涉量測技術) 二、會議目的:本次演講邀請到了台智精密科技股份有限公司-陳燦林經理,在干涉儀 方面擁有豐富經驗的陳經理,為我們講解菲索(Fizeau)雷射干涉儀及白 光掃描干涉顯微儀(SWIM)之原理及應用,首先詳細的介紹菲索干涉儀及 白光掃描干涉顯微儀量測原理,並且分析激光與白光的比較,最後講解 產業應用,有LCD應用、Silicon IC應用、Solar Cell等現今最熱門產 業之應用,讓我們在干涉儀這方面的增長了更多的知識。 三、執行單位:逢甲大學自動控制工程學系
六、講 師:台灣精密科技股份有限公司經理 陳燦林博士 七、演講資料:講義 八、聯絡人員:羅同學/傅同學/呂同學 E-Mail:m9838666@fcu.edu.tw /godboy0206@ace129.auto.fcu.edu.tw /m9839136@fcu.edu.tw TEL:(04)24517250 分機:3908 九、演講現場照片 :
講解干涉儀種類 演講者:陳燦林 經理 講解干涉儀原理及應用 現場同學們專心聆聽
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