光碟模版自動評估應用實例

3.1 微粒計數實驗

   

由影像擷取系統擷取測試板上的微粒影像諸如LCD片 夾層之空間微粒子,或是晶圓上已切割好之微晶片,針對系統微粒計數功能進行 測試,處理流程如下:開始,由影像擷取系統取進解析度為256×234、灰階 256之數位影像,然後利用3×3之平滑濾波器遮罩進行空間濾波,接著經自動 閥值擷取,得到一張二值化影像,再利用微粒標記演算法,針對影像上的微粒進 行計數,最後並與人工目視法比對,驗證系統計數功能。圖4代表微粒計數實驗 的流程圖。


圖4 微粒計數流程圖
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