SPACERS在噴撒之後需作人工檢測,每一種不同型號之光罩都有一種特定的規格,其SPACERS在每1mm平方中需要60-180顆SPACERS,但人工檢測過於耗時以及效率過低,故目前可利用數位影像處理幫助人眼做自動檢測,下圖10為其自動檢測之系統佈置圖。
圖11
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