感測器原理

　

信號與感測

　

光電產業之自動化檢測技術　摘要　感測器之定義與功能

感測器歷史　Microsensors, Why?　Microfabrication, Why?

Mechanical Characteristics

半導體製程自動化廠務感測器監控系統　光電精密感測與量測

光電量測之應用　光電非接觸量測　雷射位移感測器

原 理 簡 介　光電量測自動化　量 測 架 構 圖

量 測 流 程 圖　實 驗 圖 例　電腦主機對桌面的振動量

用手輕壓桌子的微小位移量　量測周圍環境對桌面之影響

量測微小振動量之位移　滑鼠墊移動及拍打滑鼠墊表面之位移變化

量測A4紙的表面平整度　A4紙表面摺痕微小距離變化

量測晶圓切割振動圖

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