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一些傳統的干涉儀使用非同調光（通常是單色光）即可進行量測，但是由於光源同調性差，因此操作的人原不但須對干涉理論有所認識，而且也要對儀器有良好的熟練度。 1960 年高強度同調性(Coherence) 光源的雷射問世後，干涉儀才開始蓬勃地發展；干涉儀可按照形成干涉的光束數目分為雙光束及多光束兩大類，雙光束干涉儀所產生的條紋其亮度多呈正弦曲線的分佈情形，例如太曼格林 (Twyman Green) 干涉儀、菲索 (Fizeau)干涉儀、麥克詹達干涉儀 (Mach-Zender)、剪像(shearing)干涉計及麥克森 (Michelson) 干涉儀，皆屬於此種雙光束干涉方式，而多光束干涉儀之條紋亮度分佈情形也是週期性的，但卻呈狹窄的亮帶，如梳狀脈衝波形(Dirac comb)，有名的法布里－派洛 (Fabry-Perot)干涉儀即屬此類。多光束干涉儀通常是由非常的光束干涉而形成，至於三光束或四光束的干涉儀通常視為雙光束干涉儀的同類，因為它們的干涉條紋特性很相近。干涉儀的另一種分類方式是依據光波分割的情形亦即分為波前分割與振幅分割兩種型式。波前分割是指光束的波前經過了同一平面的一系列狹縫而產生分割，例如以雙稜鏡或光柵來把一道光分成二部分 。振幅分割則是以部分反射裝置來區分其振幅大小成二部分，例如光束經過了類似分光鏡的界面而分成兩道光。