光電產業之自動化檢測技術
感測器原理
目錄
授課老師：張興政
助教：沈聖智
逢甲大學自動控制工程學系
1.光電產業之自動化檢測技術
2.摘要
3.感測器之定義與功能
4.感測器歷史
5.Microsensors, Why?
6.Microfabrication, Why?
7.Mechanical Characteristics
8.半導體製程 自動化廠務感測器監控系統
9.光電精密感測與量測
10.光電量測之應用
11.光電非接觸量測
12.雷射位移感測器
13.原 理 簡 介
14.光電量測自動化
15.量 測 架 構 圖
16.量 測 流 程 圖
17.實 驗 圖 例
18.電腦主機對桌面的振動量
19.用手輕壓桌子的微小位移量
20.量測周圍環境對桌面之影響
21.量測微小振動量之位移
22.滑鼠墊移動及拍打滑鼠墊表面之位移變化
23.量測A4紙的表面平整度
24.A4紙表面摺痕微小距離變化
25.量測晶圓切割振動圖
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