精密切割振動自動感測監控系統 A Precision Auto-sensing System for Monitoring the Cutting Vibration

感測器應用

目錄
授課老師：張興政助教：沈聖智逢甲大學自動控制工程學系
一、摘要
二、系統架構與流程
1.硬體架構方塊圖	2.振動訊號量測流程圖
3.訊號處理程式流程圖
三、實驗結果
1.厚鋼鐵切割	2.薄鋼鐵部分
3.切割振動資料記錄表例	4.厚鐵片切割振動噪音頻譜圖
5.容錯範圍內之矽晶圓切割圖	6.容錯範圍內之矽晶圓切割圖
7.振動之位移與加速度波形
四、結論
<光電微影系統作晶片切割道之檢測與分析>
1.晶片切割道相關名詞定義	2.切割設定值
3.取像環境	4.影像處理程式流程圖
5.切割道邊點方法	6.實驗結果
7.資料統計

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