雷射位移計

 

  其量測的原理是透過雷射二極體發出光線,待其打至受測物體的表面時,產生散射。藉由雷射位移計本身的光感測器來接收散射的光線,來求得受測物體的微小距離變化。

  由於雷射光為一平行單色光束,當照射在工件表面之上,沿著其反射角方向的反射光強度,有二種表面反射模式: 即鏡射式反射(Specular)和散射式反射(Scattering)二種。

  鏡射式反射顧名思義主要發生在如鏡面的表面上,其入射光的方向等於反射光的方向,另外一種散射式反射則發生在較粗糙的工作表面上。通常雷射位移計就是利用散射式反射原理而設計,並採用雷射三角法原理(Triangulation) 做量測應用。

 

雷射位移計

 

雷射三角法原理

 

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