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微型透鏡表面形狀及像質檢測技術開發
執行期間：98/ 1/ 1 ~ 98/12 / 31 編號：CSIST-757-V101號
經費： 500000
本計畫進行微型透鏡表面形狀及像質檢測技術開發
利用非接觸式光學取像、像質分析理論、光學影像處理等技術，開發微型透鏡表面形狀及像質檢測系統。
1.非接觸式陣列透鏡表面形狀檢測系統，精度小於1.0微米。
2.陣列透鏡排列檢測系統，精度小於1.0微米。
3.陣列透鏡像質檢測系統。
4.焦面光場均勻性檢測系統，且以視窗化顯示量測結果，取樣點數量與區域可自行設定，測量精度小於1%。