應用自動光學檢測與雷射散斑技術於太陽能板瑕疵檢測系統
A solar wafer automatic optical inspection
system with laser scattering and speckle technology
執行期間：
NSC 99-2221-E-035 -081
Keywords： Automatic optical inspection system, laser scattering and speckle
technology, solar wafer, saw mark, dirty spot
關鍵詞：自動光學檢測、雷射散斑、太陽能板瑕疵、鋸痕、表面髒汙
本研究為應用自動光學檢測與雷射散斑技術於太陽能板瑕疵檢測系統，利用紅外線影像處理技術整合軟體與硬體，並配合散斑取像裝置，用以檢測單晶太陽能電池基板上的瑕疵、表面粗糙度，以及精密定位，其中瑕疵檢測部分，包含鋸痕(saw mark)、表面髒汙瑕疵等檢測功能。其取像架構主要將雷射光入射於太陽能電池基板表面，進而產生一反射光，觀察雷射斑點影像的細微變化，再加以分析判斷，再透過PLC-PC連線，連結輸送裝置、機械夾爪，形成太陽能板瑕疵檢測系統，不但檢測正確率與速度提升，也能以不接觸待測物體表面為前提，達到精確的檢測目的。
本研究計畫改良太陽能板瑕疵之自動光學檢測系統，並提出新的散斑定位機制來改善定位法之不足與精準度，針對太陽能板表面粗糙度、鋸痕、偏差量等量測主題進行量測。採用自相關函數、Haar函數的離散小波轉換來做散斑影像分析，佐以影像低通濾波、二值化等影像處理方法，計算出長度面積比與位移之波形圖，對於太陽能基板可能存在的鋸痕瑕疵進行檢測與判別，並從散斑亮度與干涉點的對比判斷出太陽能板切割時線鋸抖動之影響。在進行圖像搜尋、解析及影像辨識過程中，由於影像的匹配處理具有運算資料龐大的特性，也因而比對時間耗費的縮短和能否精確找到目標影像，便是著手本研究的重點。
本研究計畫工作目標如下：
一、應用自動光學檢測與雷射散斑技術於太陽能板瑕疵檢測系統
二、2篇以上創新論文
三、1項以上專利之申請
也唯有在產學合作、理論創新與智慧財產方面，本計畫成果都能互相交融，而有所斬獲，如此亦才能驗證其成功。