裝片.清洗.塗佈光阻劑.曝光

　　當整片含有ITO膜的玻璃光罩進入生產線後，首先先清洗玻璃光罩在將光阻劑塗佈在光罩上等候曝光，隨後利用我們以準備好的所需要的圖形如下圖5的方式將以塗佈光阻劑的光罩加以曝光。

圖5