感測器歷史
＊手工機械式→電氣機械式→電子式（1947-1958）
指南針 BJT 第一個工業應用
→微電子式
（1960-1980）
→微機電系統
（1980以後）
半導體製程，成批製作，蝕刻技術 系統化、小型化、智慧化
＊發展趨勢－輕、薄、短、小、巧 。
回「光電產業自動化檢測技術專題」
