一、摘   要 
光機電整合式振動量測監控系統 
 
功   用:量測工件切割微振動量,提供多重               動態資訊,使監控更自動化與精密               化。
硬   體:雷射位移感測系統; 
               CCD影像擷取系統; 
               精密加速度感測器; 
               音量感測器。
軟   體:LabVIEW軟體。
 
 
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