四、結 論
1. 工件切割破損原因：
刀具鈍化或瑕疵。
冷卻水影響高轉速切割刀具之平衡。
晶片材料結構缺陷。
2. 自動化量測監控系統：
微小化、積體化、高精度之需求。
高效率長時間監控之需求。
回「光電產業自動化檢測技術專題」
