全像干涉量測

儀器與設備

全像干涉所使用之儀器與設備如下：

A．氦氖雷射：

本實驗採用之雷射,其輸出頻譜為632nm 之氦氖雷射。其總輸出功率為3 m W以上。

B．防震桌及防震墊

c.光學器件

本實驗採用之光學器件為一片反射率1:1 光學板、兩片反射鏡，KAL02001、PSF-1、MO-20X、Pinehole 1-20 各一套，CGM-1、CGM-2、LAP-3N、TC53及MB-1各三套。

D．分釐卡:用以量測位置

微調待測螺絲及懸臂樑

整體佈置圖

全像干涉量測之整體佈置圖如圖7-1所示。

圖7-1 全像干涉量測佈置圖

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