工具顯微儀是一種非接觸性量測,利用光學原理,將工件或像經物鏡投射庄目鏡,即藉著光線將工件放大或虛像再利用螺紋測微器及目鏡網線等輔助,以作為尺寸及形狀等量測工作。適用於小工件, 不規則形狀、脆性、彈性等材料。

工具顯微鏡之光學結構分成如下：

1.接目鏡

2.樣板鏡片

3.稜鏡(反射轉折光線用)

4.接物鏡

5.載物玻片

6.濾光色片

7.光源

工具顯微鏡

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