我們利用雷射光的繞射行為進行料片缺陷的檢驗工作,如紙、布披、塑膠、玻璃、軟片
或鋼板,如果料片表面有缺陷或本身已具有紋理的話,會使雷射光反射或穿透後形成繞射
的圖案,我們可以根據繞射的圖案實施傅利葉光學轉換、分析,進一步了解如布片的紋理
及金屬表面缺陷的情形,可以看出由於工具機上被加工物品表面有加工紋路如光柵一般,
亦及具有光學上所謂之相位圖,可觀察到由干涉後所產生之亮紋並可測出亮點所在位置
的角度值。只要知道亮點所在位置的角度值以及光波之波長,即可測出進刀產生之紋路
間隔值,亦是光柵狹縫間隔值,當光柵是加工物品表面加工紋路時,光柵狹縫間隔便與表
面粗糙度有關, 加工物品表面加工紋路越密,表面粗糙度可能較小,當亮點所在位置的角
度值越小,紋路間隔值越大, 表面粗糙度可能較大。這些工作都可交給電腦來作。對於自
動化檢測的要求,雷射繞射的方式可以說很能夠滿足這方面的安排,和量測細線一樣,當
待測物表面的缺陷是線狀或粒狀時,如果缺陷的寬度越小,那麼繞射的光點也就分的越開
,因此一些肉眼無法判別的異常缺陷,都可以利用繞射的方式,鉅細靡遺的檢出。

對於一些高速連續生產的料片,雷射光可以配合掃描機構,如旋轉多面鏡,進行量測。再
此舉一簡單的例子:如果我們使用一個直徑2mm的雷射光點來掃描料片的表面,假設使用
的旋轉多面鏡b個面,那麼配上rpm=20000的轉軸便可以得到2×20000×6×10-3=240 m/min
=6 m/sec 的掃描前進速度。對於一般的連續生產來說,這樣的掃描速度已經夠用,但是
在這種情況下,微小的缺陷信號時間變的非常短暫,也就是變成了10ns以下的脈衝信號,
因此在檢測器方面必須使用較靈敏的接線安排。

運用雷射光於鋼板表面缺陷檢測時,由於鋼板本身表面相當粗糙,因此呈現的條紋較為零
亂散慢,比較適合用斑點(Speckle)的名稱來稱呼。而以雷射光來檢驗織布或其他有規則
紋理的生產品時,我們可以觀察到類似雪花六出的圖案,相當具有藝術美感。

下列介紹一些雷射繞射圖案於機械工業檢測方面的應用例子：
 

雷射光通過網狀金屬線的繞射圖案

雷射光通過粉粒的繞射圖案

雷射光通過織布的繞射圖案